機台製作實績
ATS + TOA(Alignment Turn Stage + Turn Over Alignment)
設備功能:
- 上層玻璃基板光學式X-Y-O定位
- 下層玻璃基板翻板非光學式X-Y-O定位
- 定位精度:±0.05mm
適用製程:
- Cell ODF段真空組立前,玻璃基板翻板及定位。
製作實績:
- AUO L7B ODF VAS(G7.5)
- AUO L6B 3D VAS(G6)
- AUO L5A 3D VAS(G6)
- AUO L3D 3D VAS(G3.5)
TO + TU C/V(Turn Over + Turn Conveyer)
設備功能:
- 上層玻璃基板真空吸付翻板
- 下層輸送機Pin Up承接上層基板0°~270°轉向定位輸送。
- C/V具VCR讀取定位功能。
- 定位精度:±0.2mm
適用製程:
- Cell ODF段ULD。
- Cell AMVA段ULD。
製作實績:
- AUO L7B ODF/AMVA ULD(G7.5)
- AUO L8A ODF/AMVA ULD(G8.5)
- AUO L8B ODF/AMVA ULD(G8.5)
- AUO L6B AMVA ULD(G6)
BF + ATS(Buffer + Alignment Turn Stage)
設備功能:
- 上層玻璃基板暫存層放。
- 下層玻璃基板非接觸式X-Y-O定位。
- C/V具VCR讀取定位功能。
- 定位精度:±0.05mm
適用製程:
- Cell ODF段暫存定位。
- Cell AMVA段ULD。
製作實績:
- AUO L7B ODF/AMVA ULD(G7.5)
- AUO L8A ODF/AMVA ULD(G8.5)
- AUO L8B ODF/AMVA ULD(G8.5)
- AUO L6B AMVA ULD(G6)
Buffer + 雙層Pin Up Conveyer
設備功能:
- 上層玻璃基板暫存層放。
- 下層玻璃基板雙層Pin Up定位輸送
- 雙層Pin Up為Robot基板雙取雙放,可大幅縮短Tact Time。
- 定位精度:±0.2mm
適用製程:
- Cell PI段暫存輸送。
製作實績:
- AUO L8A PI Buffer1 BF C/V(G8.5)
- AUO L8B PI Buffer1 BF C/V(G8.5)
雙層Turn Over Conveyer
設備功能:
- 輸送機傳送式基板翻板。
- 雙層輸送機夾持,基板完成180翻板出片後,下一片基板即可進片可大幅縮短Tact Time
- 雙層Pin Up為Robot基板雙取雙放,可大幅縮短Tact Time。
- 定位精度:±0.2mm
適用製程:
- Array/Cell搬送自動化。
製作實績:
- AUO C5A(G5)
- AUO L5AB(G5)
Ultrasonic Cleaner[Head移動式]
設備功能:
- 玻璃基板表面Particle超音波清除。
適用製程:
- Cell PI Rubbing前/後製程。
- Cell ODF真空組立前製程。
- Array PVD/CVD前製程。
製作實績:
- AUO L8B ODF(G8.5)
Ultrasonic Cleaner[Conveyer式]
設備功能:
- 玻璃基板表面Particle超音波清除。
適用製程:
- Cell PI Rubbing前/後製程。
- Cell ODF真空組立前製程。
- Array PVD/CVD前製程。
製作實績:
- AUO L8B ODF(G8.5)
- AUO L6B 3D VAS(G6)
Ultrasonic Cleaner[Stage移動式]
設備功能:
- 玻璃基板表面Particle超音波清除。
適用製程:
- Cell PI Rubbing前/後製程。
- Cell ODF真空組立前製程。
- Array PVD/CVD前製程。
製作實績:
- CPT PI Rubbing LD/ULD(G6)
- CEC PANDA Array(G6)
CST Station(LD/ULD系統)
設備功能:
- 玻璃基板CST承放Port。
適用製程:
- Cell 段LD/ULD CST Part。
- Array 段LD/ULD CST Port。
製作實績:
- CPT L2C Cell 全區LD/ULD系統(G4.5)
- CPT L2 Cell 全區LD/ULD系統(G6)
- AUO L3D Track Line LD/ULD系統(G3.5)
- AUO L3A CG Line LD/ULD系統
氮氣置換真空Chamber
設備功能:
- OLED設備氮氣置換真空Chamber。
- Chamber真空度:1.4x10-2 Torr。
適用尺寸:
- 620mm x 730mm。